半導體工藝廢氣處理方法有哪些？
2021-11-24 15:58:23
半導體工藝廢氣處理方法有哪些？廢氣處理可謂是很多工廠老生常談的話題了，同時對于部分特殊的廢氣，國家也有相關法律要求強制處理。廢氣處理既是保護我們居住的環境，同時也減少了對人類身體健康的危害。小編今天就和大家一起聊聊幾種半導體工藝廢氣處理方法。
一、半導體酸堿廢氣處理方法
半導體行業酸堿廢氣處理通常采用液體噴淋法，又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。
二、半導體有機廢氣處理方法
半導體行業有機廢氣處理方法，通常先用沸石轉輪對VOCs進行吸附濃縮之后，再用直接燃燒法進行銷毀，廢氣凈化率達到97%以上。
三、直接燃燒
直接燃燒又稱為直接火焰燃燒，它是把VOCs可燃組分直接燒掉，因此該方法適用于凈化可燃有害組分濃度較高的廢氣，或者凈化有害組分燃燒時熱值較高的廢氣；多種可燃氣體或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中，只要濃度值適宜，也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高于燃燒上限，可以混入空氣后燃燒；如果可燃組分的濃度低于燃燒下限，則可以加入一定數量的輔助燃料如天然氣等，維持燃燒。